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接近開關(guān)半導體式氣體傳感器是利用金屬氧化物或金屬半導體氧化物材料做成的元件，與氣體相互作用時產(chǎn)生表面吸附或反應，引起以載流子運動為特征的電導率或伏安特性或表面電位變化等氣敏特性來實現(xiàn)氣體檢測。自一九六二年半導體金屬氧化物陶瓷氣體傳感器問世至今，半導體式氣體傳感器是應用最普遍、最具有實用價值的一類接近開關(guān)氣體傳感器。 根據(jù)氣敏機理的不同，氣體傳感器可分為電阻式和非電陰式兩種。電阻式接近開關(guān)半導體氣體傳感器利用半導體材料因吸附氣體而引起半導體元件電阻值發(fā)生變化的特性制成。利用半導體表面吸附氣體而引導起半導體電阻改變的稱為表面電阻控制型，如SNO2、ZNO、WO3等。利用接近開關(guān)半導體材料的體電阻因吸附氣體而引起半導體電阻值改變的稱為體電阻控制型。 |
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