制作多孔SIO2濕度接近開關(guān)傳感器時，先是在硅單晶襯底上形成一個多孔硅層，多孔硅層經(jīng)氧化后即成為一個具有感濕功能、性能比較穩(wěn)定的多孔SIO2層，在多孔SIO2層上制作適當(dāng)?shù)慕饘匐姌O，經(jīng)封閉、標(biāo)注定后即可使用。
利用材料吸附水分子后導(dǎo)電性提高的特點，在絕緣基底上先制作 電極，然后在其上將有吸濕特性的其他材料制成敏感薄膜，同樣可實現(xiàn)一只性能不錯的濕度接近開關(guān)傳感器。常見敏感膜材料有氯化鋰及一些高分子膜。
氯化鋰濕敏電阻的結(jié)構(gòu)圖。它是在聚碳酸酯基片上制成一對梳狀鑫電極，然后浸涂溶于聚乙烯醇的氯化鋰膠狀溶液，其表面再涂上一層多孔性保護膜而成。氯化鋰是潮解性鹽，這種電解質(zhì)溶液形成的薄膜能隨著空氣中水蒸氣的變化而吸濕或脫濕。當(dāng)空氣中濕度增加時，感濕膜中鹽的濃度降低，導(dǎo)致元件電阻隨空氣相對濕度變化而變化。
有機高分子膜濕敏電阻是在氧化鋁等陶瓷基板和設(shè)置梳形電極，然后在其表面涂以具有感濕性能又有導(dǎo)電性能的高分子材料的薄膜，再涂覆一層多孔質(zhì)的高分子膜保護層。這種濕敏元件是利用水蒸氣附著于感濕薄膜上，電阻值與相對溫度相對應(yīng)這一性質(zhì)。由于使用了高分子材料，所以適用于高溫氣體中濕度的測量。 |
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